往復(fù)式真空泵（又稱活塞式真空泵）是干式真空泵；它是依靠汽缸內(nèi)的活塞作往復(fù)運(yùn)動(dòng)來(lái)吸入和排出氣體的。

　　往復(fù)式真空泵的結(jié)構(gòu)及減壓原理往復(fù)式真空泵的結(jié)構(gòu)和作用原理，與往復(fù)式壓縮機(jī)基本相同。它們都是將低壓氣體經(jīng)過(guò)壓縮而提高壓強(qiáng)。不同之處在于，前者是從容器中抽出稀薄氣體，并將其壓縮到一個(gè)大氣壓以上后再排出去，而后者，則是將常壓的氣體壓縮到更高的壓強(qiáng)后排出去。

　　此外，它們?cè)谂錃鈾C(jī)構(gòu)，即進(jìn)氣閥和排氣閥結(jié)構(gòu)方面也有區(qū)別，往復(fù)式壓縮機(jī)巾，一般采用彈簧閥，而往復(fù)式真空泵中，則多采用滑閥式配氣機(jī)構(gòu)。往復(fù)式真空泵的壓縮比很高，例如要達(dá)到95%的真空度時(shí)，其極限壓力為5kPa，而排氣壓力為Il2kPa，則其壓縮比為22:所以，余隙中殘留氣體時(shí)，對(duì)真空泵的生產(chǎn)能力會(huì)產(chǎn)生非常大的影響。