目前，應(yīng)力和雙折射的定量測(cè)量主要以肉眼觀測(cè)的塞納蒙法儀器為主。最近，本公司研發(fā)的，只要手動(dòng)旋轉(zhuǎn)檢偏鏡的半自動(dòng)塞納蒙法普及。

塞納蒙法是通過檢測(cè)者旋轉(zhuǎn)檢偏鏡，測(cè)量部位由最亮變成最暗的狀態(tài)，定量檢測(cè)光程差的檢測(cè)方式。但是，一直是肉眼觀測(cè)型，根據(jù)測(cè)量環(huán)境和測(cè)量者的不同，明亮度的判別會(huì)有偏差。另外，半自動(dòng)測(cè)量的精度與肉眼觀測(cè)相比有所改善，但是測(cè)量部位限于圖像中特定的一部分。塞納蒙法沒法檢測(cè)慢軸方向，只能參考感光色法推斷。另外觀測(cè)二次元分布的時(shí)候，長時(shí)間多次測(cè)量的結(jié)果有必要繪制圖像。

本裝置是在直線偏光板和1/4波長板組成的圓偏光板上放置樣品的，可以直接開始測(cè)量。因此熟練者和初學(xué)者沒區(qū)別，都可以簡(jiǎn)單進(jìn)行光程差和慢軸方向的定量測(cè)量。另外，不僅可以測(cè)特定部位，使用內(nèi)置CCD相機(jī)，每個(gè)像素單位都可以測(cè)量。因此光程差和慢軸方向可以在顯示器上顯示2次元圖像，分布狀態(tài)也可以一目了然。

因?yàn)檫B接電腦容易記錄測(cè)量數(shù)據(jù)與觀測(cè)圖像。

光源采用高亮度的LED燈，壽命長又省電，所以削減更換光源的時(shí)間和運(yùn)行成本。

測(cè)量原理

測(cè)量方法采用固定圓偏光板，旋轉(zhuǎn)檢偏鏡的方法。

光線經(jīng)過直線偏光+1/4波長板變成圓偏振光，放置有應(yīng)力的樣品，雙折射的慢軸快軸間產(chǎn)生光程差，變成橢圓偏振光。然后旋轉(zhuǎn)檢偏鏡，橢圓偏振光內(nèi)，偏振光透射軸和平行光以直線偏振光方式通過。此時(shí)可以看到通過檢偏鏡的光強(qiáng)度依據(jù)光程差和慢軸方向隨著檢偏鏡角度變化有所變化。全自動(dòng)應(yīng)力儀測(cè)量一次預(yù)定的四個(gè)角度有相機(jī)拍照，從各個(gè)角度的光強(qiáng)度得出偏振光狀態(tài)（楕圓率和橢圓斜度）。

然后，檢測(cè)是否放置樣品，從各個(gè)偏光狀態(tài)的不同，算出光程差的大小和慢軸方向。

遮光測(cè)量

為了遮光，安裝了不拉下遮擋框就不能檢測(cè)的結(jié)構(gòu)。

這樣，排除了不必要的光，可以得出穩(wěn)定的精度。

用途

定量測(cè)量玻璃產(chǎn)品的殘余應(yīng)力

檢測(cè)塑料產(chǎn)品的應(yīng)力

測(cè)量光學(xué)薄膜的光程差

檢測(cè)結(jié)晶材料有無應(yīng)力

關(guān)于樣品

因?yàn)槭褂?90nm的光源，不透光的樣品不能檢測(cè)

另外、透光率低的產(chǎn)品或者因漫反射導(dǎo)致透明度低的樣品也不能檢測(cè)

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