LOTO閥（Lock-Out／Tag-Out）
針對(duì)半導(dǎo)體，液晶，LED等行業(yè)，KITZSCT生產(chǎn)的閥門
主要規(guī)格 項(xiàng)目
VLD4QL
VLD8QL Manual Manual
CVC-Male CVC-Female CVC-Male CVC-Female
Dimention 長(zhǎng)度 62.4 76 長(zhǎng)度57 70.6 77 83Cv値 0.27 0.7
最高使用壓力 0.98MPa(G)
使用流體溫度范圍 PCTFE -10?80℃ PI,PFA -10?150℃
外部泄漏量檢測(cè) 1.0x10-10Pa?m3/sec以下
內(nèi)部泄漏量檢測(cè) 1.0x10-10Pa?m3/sec以下
連接氣體表面粗糙度 EP(Rz 0.7μm以下) / STD(Rz 3.2μm以下)
密封圈材質(zhì) PCTFE,PI,PFA
閥身材質(zhì) SUS316L
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