產(chǎn)品描述
PFB-030U是重載設(shè)計(jì)直接驅(qū)動(dòng)型的壓電陶瓷物鏡聚焦平臺(tái),是專門用于顯微鏡物鏡的精確定位設(shè)計(jì)。典型應(yīng)用為半導(dǎo)體晶圓切割領(lǐng)域,它設(shè)計(jì)為30μm的行程,非常適合短距離聚焦應(yīng)用。
PFB-030U的應(yīng)用范圍包括:Z向移動(dòng),3D成像,自動(dòng)對(duì)焦或與我們提供的XY納米位移臺(tái)設(shè)備一起使用。PFC-050U/100U本體由鋁,鋼和黃銅制成,閉環(huán)配有穩(wěn)定性的傳感器采用全閉環(huán)配置。
黃銅安裝環(huán)可以輕松更換,以使每個(gè)物鏡都適合PFC納米定位器??捎玫臉?biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品包括RMS、M25、M26、M27、M32、M38等,也可以按需定制。本系列產(chǎn)品可匹配蔡司、尼康、奧林巴斯、徠卡等多種標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。
零間隙,高精度柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)更好的聚焦穩(wěn)定性。它們的剛性可實(shí)現(xiàn)高負(fù)載能力,可帶動(dòng)較大物鏡的高動(dòng)態(tài)定位和掃描。
可選的應(yīng)變測(cè)量反饋閉環(huán)操作版本,采用高分辨率應(yīng)變測(cè)量位置傳感器,具有高精度和可重復(fù)的運(yùn)動(dòng),也補(bǔ)償壓電陶瓷的蠕變特性,閉環(huán)裝置可以用于開(kāi)環(huán)或閉環(huán)控制。
產(chǎn)品特性
—位移:30μm(閉環(huán))
—螺紋尺寸:W0.8x1/36“至M38x0.75
—適用于質(zhì)量達(dá)1Kg專用物鏡
—帶載500g物鏡典型步進(jìn)和穩(wěn)定約為3ms
—較大物鏡的高動(dòng)態(tài)定位和掃描
選配功能
—可定制轉(zhuǎn)接裝置及固定方式
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長(zhǎng)度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—可選擇定制其它螺紋規(guī)格
應(yīng)用領(lǐng)域
—半導(dǎo)體晶元切割、半導(dǎo)體測(cè)試、生物技術(shù)
—自動(dòng)聚焦系統(tǒng)、測(cè)量技術(shù)
—干涉測(cè)量、篩選
—3D成像、共聚焦顯微鏡
【商家簡(jiǎn)介】上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司(簡(jiǎn)稱納動(dòng)納米、NanoMotions),坐落于上海漕河涇新興技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū),是一家專業(yè)集精密機(jī)械、精密驅(qū)動(dòng)、精密傳感、精密控制、精密測(cè)量、精密光學(xué)等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體的高新技術(shù)企業(yè),專注于超精密納米級(jí)定位及運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)與產(chǎn)品的開(kāi)發(fā),并致力于創(chuàng)新開(kāi)發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測(cè)量等高端設(shè)備提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案,滿足于國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)對(duì)超精密納米級(jí)定位及運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)需求的專業(yè)研發(fā)制造商。 上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司本著創(chuàng)新引領(lǐng),立足高端,精益打造納米定位與運(yùn)動(dòng)控制中國(guó)制...
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