主要技術(shù)參數(shù)：

◆    測(cè)量范圍(XYZ)：標(biāo)準(zhǔn)：200×200×25mm；可選：300x300x25
◆    視場(chǎng)內(nèi)測(cè)量精度：10nm(100X 鏡頭)；Z軸ju jiao范圍：25 mm
◆    視場(chǎng)內(nèi)測(cè)量范圍：0.5um~400um；
◆    視場(chǎng)內(nèi)測(cè)量重復(fù)性(100x 物鏡)：  晶圓上<0.010um(1δ)； 
                                                   掩模板上0.005um(1δ)；   

◆    承重：2kg

◆    標(biāo)配鏡頭10x，可選鏡頭：5X, 20X, 50X, 100X

MicroLine^TM 300是一款高性能測(cè)量晶圓、光罩、MEMS和其他微加工設(shè)備等關(guān)鍵尺寸的自動(dòng)化測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)配備了高質(zhì)量光學(xué)顯微鏡和精密移動(dòng)平臺(tái)，可對(duì)200mm的晶圓上0.5µm到400µm的特征尺寸進(jìn)行全自動(dòng)的精密視場(chǎng)測(cè)量。

n  200 x200mm精密X-Y平臺(tái)

n  基于視覺(jué)的自動(dòng)ju jiao獲得佳影像質(zhì)量

n  自動(dòng)照明可編程光強(qiáng)

n  用于測(cè)量透明層、不規(guī)則邊緣的線、厚膜等的強(qiáng)勁性能

n  完全可編程的序列，包括自動(dòng)ju jiao和關(guān)鍵尺寸測(cè)量

n  電動(dòng)的6目物鏡轉(zhuǎn)換器，軟件控制

n  可選的透射照明

技術(shù)規(guī)格：

- 測(cè)量行程: 200 x 200 x25mm(XYZ)

- 平臺(tái)運(yùn)行: 交叉滾軸手動(dòng)同軸定位和快速釋放

- 視場(chǎng)內(nèi)的測(cè)量精度: 0.010µm (用100x物鏡)

- 特征尺寸: 視場(chǎng)內(nèi)0.5µm - 400µm

- FOV測(cè)量重復(fù)性: <0.010µm on wafers (用100x物鏡)

<0.005µm on photomasks (用100x物鏡)

- 照明: 石英鹵素?zé)?/font>, 反射光

      自動(dòng)照明

- 低噪音CCD VGA格式攝像頭

- 圖像處理60幀每秒

MicroLine 300的典型應(yīng)用包括：

l  晶圓

l  光罩

l  MEMS

l  微型組件

測(cè)量類(lèi)型:

n  關(guān)鍵尺寸:

線寬  Linewidth

節(jié)距  Pitch

間隙  Spacing

n  Overlay

            Multi-layer registration

Box in box

Circle

Edge roughness

Butting error

 

【商家簡(jiǎn)介】　東莞市天測(cè)光學(xué)設(shè)備有限公司（TianCe Optical Equipment Co.,LTD.）是一家專(zhuān)業(yè)從事測(cè)量?jī)x器銷(xiāo)售和服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。...

 

【溫馨提示】以上是東莞市天測(cè)光學(xué)設(shè)備有限公司供應(yīng)的影像儀--VIEW MicroLine 300-MicroLine-300是一款桌上型半自動(dòng)CD測(cè)量系統(tǒng)的詳細(xì)信息，歡迎您在驛路商務(wù)查看影像儀的新的價(jià)格、廠家、型號(hào)、圖片等信息。本頁(yè)所展示的信息由企業(yè)自行提供，內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由發(fā)布企業(yè)負(fù)責(zé)，"驛路商務(wù)"對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。同時(shí)鄭重提醒各位買(mǎi)/賣(mài)家，交易前請(qǐng)?jiān)敿?xì)核實(shí)對(duì)方身份，切勿隨意打款或發(fā)貨，謹(jǐn)防上當(dāng)受騙。如發(fā)現(xiàn)虛假信息，請(qǐng)積極舉報(bào)。[我要舉報(bào)]

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