抽除100%的有機溶劑(如酒精、汽油、丁烷等)氣體能力,也能確保長期可靠地連續(xù)工作,并且抽除的重要氣體可以實現(xiàn)100%回收,重復(fù)使用。本系列產(chǎn)品安裝了排液裝置,可以使冷凝在泵腔內(nèi)的冷凝液體逐級排除泵外,確保了泵的工作效率,延長了泵的使用壽命。
特點:1.清潔抽空,對環(huán)境無污染;
2.在流程腔內(nèi),部件間無內(nèi)部接觸,無油氣污染;
3.抽除能力強、工作平穩(wěn)、噪聲低;
4.維護成本低。
配合使用:作為羅茨泵、分子泵、鈦升華泵、濺射離子泵、低溫泵的前級泵配套,可組成清潔的無油中真空和無油高真空機組。
應(yīng)用環(huán)境:化工實驗室、真空蒸餾、真空分餾、真空濃縮、分子蒸餾;光譜儀器、電子顯微鏡;表面物理和分析儀器;各種鍍膜設(shè)備、退火爐、加熱爐、空間研究;
電子管生產(chǎn)、熱管生產(chǎn)、圖像轉(zhuǎn)換管、電子顯像管;光學(xué)器件的過程工藝、半導(dǎo)體器件過程工藝等、等離子刻蝕、化學(xué)氣相沉積、分子束外延、離子注入;真空干燥、真空凍干、真空燒結(jié)、液晶生產(chǎn)、真空冶煉;太陽能電力;國防科研。
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