結(jié)構(gòu)
（點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）
輸入電源
220VAC 50/60Hz, 單相
2000W (包括泵)
濺射電源
安裝有兩個濺射電源
直流（DC）電源：500W，針對于制作金屬膜
射頻（RF）電源：600W，可制作氧化物和金屬膜
同時可選配300W的射頻電源
磁控濺射頭
儀器中安裝有2個磁控濺射頭，而且都帶有水冷夾層，可通入冷卻水對靶材降溫
其中一個濺射頭與射頻電源相連接，主要是濺射絕緣性靶材
另一個濺射頭與直流電源相連接，主要濺射導(dǎo)電性靶材
靶材尺寸要求：金屬靶：直徑為50mm,zui大厚度1.5mm
陶瓷靶：直徑為50mm,zui大厚度6mm
儀器中標(biāo)配一個不銹鋼靶和氧化鋁陶瓷靶
濺射頭所需冷卻水：流速10ml/min（儀器中配有一臺流速為16ml/min的循環(huán)水冷機(jī)）
也可以根據(jù)自己的要求選擇2個射頻濺射頭或3個射頻濺射頭，訂購前需于本公司銷售人員
真空腔體
真空腔體：300 mm Dia x 300 mm h，采用不銹鋼制作
觀察窗口： 100 mm diameter
腔體打開方式采用上頂開，使得換靶更加容易
載樣臺
載樣臺尺寸：140mm dia.（zui大可放置4"的基底）
載樣臺可以旋轉(zhuǎn)，其速度為：1 - 20 rpm （可調(diào)）
載樣臺zui高可加熱溫度為500℃，控溫精度為+/- 1.0 °C
氣體流量控制器
儀器內(nèi)部安裝有2個質(zhì)量流量計
量程為：0-200sccm
氣體流量設(shè)置可以在6英寸的觸摸屏上進(jìn)行操作
真空泵系統(tǒng)
配有一套分子泵系統(tǒng)（德國制作），采用一鍵式操作
薄膜測厚儀
一個精密的石英振動薄膜測厚儀安裝在儀器上，可實(shí)時監(jiān)測薄膜的厚度，分辨率為0.10 Å
LED顯示屏顯示，同時也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)
外形尺寸
L1300mm× W660mm× H1200mm
重量
160 kg
質(zhì)保期
一年質(zhì)保期，終生維護(hù)
https://www.chem17.com/st152911/erlist_1290255.html
http://www.kjmti.com.cn/Products-24006809.html
粵公網(wǎng)安備 44190002000523號