北京創(chuàng)世杰公司提供美國Trion公司的Orion III系列等離子增強化學氣相沉積（PECVD）系統(tǒng)、Phantom III系列反應離子刻蝕系統(tǒng)（RIE，DRIE，ICP等）和Apollo型等離子去膠機。美國Trion公司為化合物半導體、MEMS（微機電系統(tǒng)）、光電器件以及其他半導體市場提供多種等離子工藝設備。Trion產品在業(yè)內以系統(tǒng)占地面積小，成本合理而著稱，且設備及工藝可靠性和穩(wěn)定性久經考驗。產品線既包含成套的批量生產設備，也有用于科研開發(fā)的系統(tǒng)。

 

Orion III 等離子增強型化學氣相沉積機

設備主要性能指標:

1. 適于實驗室和小規(guī)模生產線

2. 適合沉積氧化硅、氮化硅、氮氧化硅以及非晶硅等薄膜

3. 可使用的工藝氣體：SiH4（含量<20%）、NH3、TEOS、SiH2Cl2、N2O、O2以及N2等

4. 基片臺尺寸為200mm或300mm

5. 基片尺寸300mm，兼容更小尺寸的基片

6. 標配功率300W、頻率350-460kHz的等離子激發(fā)源（底部源）

7. 從反應腔室頂蓋處直接裝卸基片

8. 配備工藝壓力下游自動控制系統(tǒng)

9. 標配4路，可選8路質量流量計控制的工藝氣路，采用超潔凈管路及VCR接頭

10. 基于計算機的配方式工藝控制系統(tǒng)，彩色觸摸屏操控

11. （可選）增加功率600W、頻率13.56MHz的高密度等離子激發(fā)源（頂部源），優(yōu)化薄膜應力控制

12. （可選）基片加熱溫度控制50℃至400℃

13. （可選）油泵、干泵及分子泵

14.  （可選）Loadlock預真空鎖腔室

15.  （可選）ICP電感應耦合等離子源

同時，本公司還可以提供美國Trion公司用于批量生產型的Titan型和Oracle III型多腔室型生產型的等離子增強化學氣相沉積系統(tǒng)PECVD和反應離子刻蝕系統(tǒng)RIE（含ICP、HDICP、深硅刻蝕等）。

【商家簡介】北京創(chuàng)世杰科技發(fā)展有限公司2001年成立于北京，主要是致力于半導體電子產品制造及測試設備、真空產品等業(yè)務，為廣大的中國客戶提供國際上先進的產品和服務。公司的經營哲學為：依靠經驗豐富的專業(yè)團隊，為中國市場提供優(yōu)質的產品服務及技術支援，全力維護與客戶及供應商的長期合作伙伴關系。主要產品：1）英國Dage公司Dage4000/4000plus/Dage5000推拉力測試機（鍵合力測試儀、拉力剪切力測試儀）2）德國YXLON公司（原Feinfocus）X光無損檢測系統(tǒng)/3D CT X光無損檢測系統(tǒng)（型號：Y.CO... 【溫馨提示】以上是北京創(chuàng)世杰科技發(fā)展有限公司供應的其他電子制造設備--等離子增強化學氣相沉積系統(tǒng)-美國Trion公司等離子增強化學氣相沉積系統(tǒng)PECVD的詳細信息，歡迎您在驛路商務查看其他電子制造設備的新的價格、廠家、型號、圖片等信息。本頁所展示的信息由企業(yè)自行提供，內容的真實性、準確性和合法性由發(fā)布企業(yè)負責，"驛路商務"對此不承擔任何保證責任。同時鄭重提醒各位買/賣家，交易前請詳細核實對方身份，切勿隨意打款或發(fā)貨，謹防上當受騙。如發(fā)現(xiàn)虛假信息，請積極舉報。[我要舉報]

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