

單 價(jià):電議
產(chǎn)品/服務(wù):反應(yīng)離子刻蝕機(jī)
品 牌:美國(guó)TRION公司
供貨總量:
發(fā)貨期限:自買家付款之日起 3 天內(nèi)發(fā)貨
所在地:天津
有效期至:長(zhǎng)期有效
最后更新:2018-10-14 13:59
瀏覽次數(shù):1262
型號(hào):Phantom III反應(yīng)離子刻蝕機(jī)
設(shè)備主要性能指標(biāo):
1. 適于研發(fā)、實(shí)驗(yàn)室、芯片失效分析和小批量生產(chǎn)
2. 采用氟基、氯基、溴基、氧基化學(xué),適合刻蝕鋁、砷化鎵、鈦、銅、鉻、硅、氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、聚酰亞胺、環(huán)氧樹脂、石墨、鉬、鉭、鎢等薄膜(部分材料需選配預(yù)真空腔室)
3. 可使用的工藝氣體:Cl2、BCl3、SiCl4、HBr、NF3、SF6、CF4、CHF3、O2等(部分工藝氣體需選配預(yù)真空腔室)
4. 基片臺(tái)尺寸為200mm或300mm
5. 基片尺寸可達(dá)300mm,兼容更小尺寸的基片
6. 標(biāo)配功率600W、頻率13.56MHz的射頻等離子激發(fā)源(電容源),含自動(dòng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)
7. 從反應(yīng)腔室頂蓋處直接裝卸基片
8. 配備工藝壓力下游自動(dòng)控制系統(tǒng)
9. 標(biāo)配4路,可選7路質(zhì)量流量計(jì)控制的工藝氣路,采用超潔凈管路及VCR接頭
10. 基于計(jì)算機(jī)的配方式工藝控制系統(tǒng),彩色觸摸屏操控
11. (可選)增加功率600W或1250W、頻率13.56MHz的ICP高密度等離子激發(fā)源(電感源),改善刻蝕速率、刻蝕選擇比、形貌控制、均勻性并且減少離子損傷
12. (可選)基片溫度控制-冷卻或加熱
13. (可選)在線刻蝕終點(diǎn)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)EPD
14. (可選)油泵、干泵及分子泵
15. (可選)靜電卡盤基片臺(tái)
16. (可選)預(yù)真空鎖腔室
17. (可選)ICP電感應(yīng)耦合等離子源
同時(shí),本公司還可以提供美國(guó)Trion公司用于批量生產(chǎn)型的Titan型和Oracle III型多腔室型生產(chǎn)型的等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)PECVD和反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)RIE(含ICP、HDICP、深硅刻蝕等)。
【商家簡(jiǎn)介】北京創(chuàng)世杰科技發(fā)展有限公司2001年成立于北京,主要是致力于半導(dǎo)體電子產(chǎn)品制造及測(cè)試設(shè)備、真空產(chǎn)品等業(yè)務(wù),為廣大的中國(guó)客戶提供國(guó)際上先進(jìn)的產(chǎn)品和服務(wù)。公司的經(jīng)營(yíng)哲學(xué)為:依靠經(jīng)驗(yàn)豐富的專業(yè)團(tuán)隊(duì),為中國(guó)市場(chǎng)提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品服務(wù)及技術(shù)支援,全力維護(hù)與客戶及供應(yīng)商的長(zhǎng)期合作伙伴關(guān)系。主要產(chǎn)品:1)英國(guó)Dage公司Dage4000/4000plus/Dage5000推拉力測(cè)試機(jī)(鍵合力測(cè)試儀、拉力剪切力測(cè)試儀)2)德國(guó)YXLON公司(原Feinfocus)X光無損檢測(cè)系統(tǒng)/3D CT X光無損檢測(cè)系統(tǒng)(型號(hào):Y.CO...
【溫馨提示】以上是北京創(chuàng)世杰科技發(fā)展有限公司供應(yīng)的其他電子制造設(shè)備--反應(yīng)離子刻蝕機(jī)-美國(guó)Trion公司反應(yīng)離子刻蝕機(jī)RIE的詳細(xì)信息,歡迎您在驛路商務(wù)查看其他電子制造設(shè)備的新的價(jià)格、廠家、型號(hào)、圖片等信息。本頁所展示的信息由企業(yè)自行提供,內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由發(fā)布企業(yè)負(fù)責(zé),"驛路商務(wù)"對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。同時(shí)鄭重提醒各位買/賣家,交易前請(qǐng)?jiān)敿?xì)核實(shí)對(duì)方身份,切勿隨意打款或發(fā)貨,謹(jǐn)防上當(dāng)受騙。如發(fā)現(xiàn)虛假信息,請(qǐng)積極舉報(bào)。[我要舉報(bào)]
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