北京創(chuàng)世杰公司提供美國(guó)Trion公司的Orion III系列等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）系統(tǒng)、Phantom III系列反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)（RIE，DRIE，ICP等）和Apollo型等離子去膠機(jī)。美國(guó)Trion公司為化合物半導(dǎo)體、MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）、光電器件以及其他半導(dǎo)體市場(chǎng)提供多種等離子工藝設(shè)備。Trion產(chǎn)品在業(yè)內(nèi)以系統(tǒng)占地面積小，成本合理而著稱，且設(shè)備及工藝可靠性和穩(wěn)定性久經(jīng)考驗(yàn)。產(chǎn)品線既包含成套的批量生產(chǎn)設(shè)備，也有用于科研開發(fā)的系統(tǒng)。

型號(hào)：Phantom III反應(yīng)離子刻蝕機(jī)

設(shè)備主要性能指標(biāo):

1. 適于研發(fā)、實(shí)驗(yàn)室、芯片失效分析和小批量生產(chǎn)

2. 采用氟基、氯基、溴基、氧基化學(xué)，適合刻蝕鋁、砷化鎵、鈦、銅、鉻、硅、氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、聚酰亞胺、環(huán)氧樹脂、石墨、鉬、鉭、鎢等薄膜（部分材料需選配預(yù)真空腔室）

3. 可使用的工藝氣體：Cl2、BCl3、SiCl4、HBr、NF3、SF6、CF4、CHF3、O2等（部分工藝氣體需選配預(yù)真空腔室）

4. 基片臺(tái)尺寸為200mm或300mm

5. 基片尺寸可達(dá)300mm，兼容更小尺寸的基片

6. 標(biāo)配功率600W、頻率13.56MHz的射頻等離子激發(fā)源（電容源），含自動(dòng)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)

7. 從反應(yīng)腔室頂蓋處直接裝卸基片

8. 配備工藝壓力下游自動(dòng)控制系統(tǒng)

9. 標(biāo)配4路，可選7路質(zhì)量流量計(jì)控制的工藝氣路，采用超潔凈管路及VCR接頭

10. 基于計(jì)算機(jī)的配方式工藝控制系統(tǒng)，彩色觸摸屏操控

11. （可選）增加功率600W或1250W、頻率13.56MHz的ICP高密度等離子激發(fā)源（電感源），改善刻蝕速率、刻蝕選擇比、形貌控制、均勻性并且減少離子損傷

12. （可選）基片溫度控制-冷卻或加熱

13. （可選）在線刻蝕終點(diǎn)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)EPD

14. （可選）油泵、干泵及分子泵

15. （可選）靜電卡盤基片臺(tái)

16. （可選）預(yù)真空鎖腔室

17.  （可選）ICP電感應(yīng)耦合等離子源

同時(shí)，本公司還可以提供美國(guó)Trion公司用于批量生產(chǎn)型的Titan型和Oracle III型多腔室型生產(chǎn)型的等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)PECVD和反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)RIE（含ICP、HDICP、深硅刻蝕等）。

【商家簡(jiǎn)介】北京創(chuàng)世杰科技發(fā)展有限公司2001年成立于北京，主要是致力于半導(dǎo)體電子產(chǎn)品制造及測(cè)試設(shè)備、真空產(chǎn)品等業(yè)務(wù)，為廣大的中國(guó)客戶提供國(guó)際上先進(jìn)的產(chǎn)品和服務(wù)。公司的經(jīng)營(yíng)哲學(xué)為：依靠經(jīng)驗(yàn)豐富的專業(yè)團(tuán)隊(duì)，為中國(guó)市場(chǎng)提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品服務(wù)及技術(shù)支援，全力維護(hù)與客戶及供應(yīng)商的長(zhǎng)期合作伙伴關(guān)系。主要產(chǎn)品：1）英國(guó)Dage公司Dage4000/4000plus/Dage5000推拉力測(cè)試機(jī)（鍵合力測(cè)試儀、拉力剪切力測(cè)試儀）2）德國(guó)YXLON公司（原Feinfocus）X光無損檢測(cè)系統(tǒng)/3D CT X光無損檢測(cè)系統(tǒng)（型號(hào)：Y.CO... 【溫馨提示】以上是北京創(chuàng)世杰科技發(fā)展有限公司供應(yīng)的其他電子制造設(shè)備--反應(yīng)離子刻蝕機(jī)-美國(guó)Trion公司反應(yīng)離子刻蝕機(jī)RIE的詳細(xì)信息，歡迎您在驛路商務(wù)查看其他電子制造設(shè)備的新的價(jià)格、廠家、型號(hào)、圖片等信息。本頁所展示的信息由企業(yè)自行提供，內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由發(fā)布企業(yè)負(fù)責(zé)，"驛路商務(wù)"對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。同時(shí)鄭重提醒各位買/賣家，交易前請(qǐng)?jiān)敿?xì)核實(shí)對(duì)方身份，切勿隨意打款或發(fā)貨，謹(jǐn)防上當(dāng)受騙。如發(fā)現(xiàn)虛假信息，請(qǐng)積極舉報(bào)。[我要舉報(bào)]

• 下一產(chǎn)品：美國(guó)Trion公司等離子去膠機(jī)
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